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傅立葉變換紅外光譜儀
簡(jiǎn)要描述:

MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀由2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì),,高光通量取樣單元,,分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-12-20
  • 訪  問(wèn)  量:2433

詳細(xì)介紹

MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀,。其具有ppb到ppm靈敏度,。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視,。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體,。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,,故省出了氣體筒的成本。另外,,操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030操作簡(jiǎn)便,,易于維護(hù)。


特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

? 10ppb-靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體

? 易于移動(dòng)從一處移到另一處,,設(shè)置僅需幾分鐘

? 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

? 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,,省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

? 保護(hù)的線性檢測(cè)器,確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

? 頻率和分辨率診斷,,確保校準(zhǔn)恒定

? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

? 用戶操作簡(jiǎn)便軟件界面,,稍加培訓(xùn)即可操作


光譜分析

Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能的分析軟件,它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合 物的濃度,,這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件,, 能對(duì)分析器直接量測(cè)到的氣體溫度和壓力的 變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成,,進(jìn)行瞬時(shí)分析,。

整個(gè)數(shù)據(jù)整理過(guò)程中,MultiGas 軟件一邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度,,一邊不 斷的收集和描繪光譜,。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式,測(cè)得的光譜和殘余光 譜,。這個(gè)殘余光譜能被用來(lái)確定分析的誤差,, 使得QA/QC變得簡(jiǎn)單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有 被提及的光譜后,,殘留光譜就描繪“剩余的" 光譜信息一次,。一旦光譜被收集和保存,這 些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零 點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝,。

對(duì)應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì),,2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙的,能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作,,是可用的處理FTIR方式中較快速,,靈敏和穩(wěn)定的!另外,它能在在惡劣環(huán)境下操作,,具有對(duì)高溫,,振動(dòng)和溫度變化的免疫。更可貴的是,,高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標(biāo)準(zhǔn)的,,為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL) 多變換,,有5.11米有效通道的氣室,,這個(gè)氣室的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的, 非端正的鏡子,,它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量,。做為選擇,一個(gè)單變換 的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收 率的氣體,,任何一種氣室在環(huán)境溫度到 191℃之間操作,。


儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖,能提供 一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù)的校準(zhǔn)都由其提供,,另外,,用戶也可以通過(guò) 已知的濃度來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用,,使它能把一個(gè)已經(jīng) 在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái)機(jī)器上,,而且不用變更。


MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀規(guī)格

分析儀主機(jī)

傅立葉變換紅外光譜儀

分析儀采樣參數(shù)

傅立葉變換紅外光譜儀

分析儀氣體室

傅立葉變換紅外光譜儀

檢測(cè)極限

傅立葉變換紅外光譜儀



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