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描述 

MKS MultiGas^TM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀,。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,，氣體純度和組成分 析,，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MKS MultiGas^TM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達40%水的氣流,，能同時分析和顯示多達30種氣體,。分析儀儲存了校準光譜，故 省出了氣體筒的成本,。另外,，操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas^TM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡便，易于維護,。 

MKS MultiGas^TM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計,， 高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成,。MKS MultiGas^TM6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析,，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量,。